| 发明名称 | 一种蚀刻机 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蚀刻机，其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构、显影机构、蚀刻机构、退膜机构、脱水烘干机构和出板机构，所述进板机构、所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构、所述脱水烘干机构和所述出板机构通过独立设置的传动装置连接，所述显影机构、所述蚀刻机构和所述退膜机构分别连接有分段式排气装置、过滤装置以及泵装置。本实用新型能将显影、蚀刻、退膜等工序有机地结合为一体，在一台设备中自动完成整个生产制造过程，自动化程度高，同时设计合理，制板和过滤回收效果好，给相关行业带来比巨大的益处。 | ||
| 申请公布号 | CN202430289U | 申请公布日期 | 2012.09.12 |
| 申请号 | CN201120563977.6 | 申请日期 | 2011.12.30 |
| 申请人 | 特新电路材料（东莞）有限公司 | 发明人 | 欧阳建英;梁启光 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种蚀刻机，其特征在于：其包括控制系统以及与控制系统电连接的并且依次设置的进板机构（1）、显影机构（2）、蚀刻机构（3）、退膜机构（4）、脱水烘干机构（5）和出板机构（6），所述进板机构（1）、所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）、所述退膜机构（4）、所述脱水烘干机构（5）和所述出板机构（6）分别通过独立设置的传动装置（7）连接，所述显影机构（2）、所述蚀刻机构（3）和所述退膜机构（4）分别连接有分段式排气装置（8）、过滤装置以及泵装置。 | ||
| 地址 | 523380 广东省东莞市茶山镇茶山工业园特新电路材料（东莞）有限公司 | ||