一种真空退火炉

摘要

本实用新型涉及真空退火炉，尤其涉及一种防堵塞、使用寿命更长的真空退火炉，包括真空炉体、油扩散泵、第一真空挡板阀、第二真空挡板阀、第三真空挡板阀、空气过滤器、第一真空泵、充气阀、第二真空泵，本实用新型通过设置的第一真空挡板阀、第二真空挡板阀、第三真空挡板阀控制真空管道内部气流的通断，同时利用空气过滤器滤除多余超细微粉，通过油扩散泵去除油污染，通过上述结构，本实用新型的有益效果包括：可防止多余超细微粉对真空泵泵腔的损害，可防止油污染对机械造成多余负担，提高了真空泵的寿命，从而提高本实用新型整体的寿命，减少了检修率。

主权项

一种真空退火炉，其特征在于：包括真空炉体、油扩散泵、第一真空挡板阀、第二真空挡板阀、第三真空挡板阀、空气过滤器、第一真空泵、充气阀、第二真空泵；所述真空炉体连接在第一真空挡板阀的右侧，所述第二真空挡板阀的右侧连接第一真空挡板阀的左侧，所述第一真空挡板阀的底端连接油扩散泵；所述油扩散泵的左侧连接第三真空挡板阀的底端；所述第二真空挡板阀的底端连接空气过滤器的右侧；所述空气过滤器的底端同时连接第三真空挡板阀的左侧和第一真空泵；所述第一真空泵的左侧连接充气阀，所述充气阀连接第二真空泵。