| 发明名称 | 一种硅片抛光用游轮片 | ||
| 摘要 | 一种硅片抛光用游轮片，它包括：由不锈钢制作而成游轮片，游轮片的厚度为0.5～1mm，游轮片中放硅片的内圆处镶嵌一圈碳纤维材料。本实用新型的优点是游轮片不锈钢边缘齿轮耐磨性好，与硅片接触处的碳纤维材料对硅片边缘损伤小，耐磨性也好，抛光过程中因为损耗对硅片的几何参数影响较小，提高双面抛光的制备性能与成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN202428296U | 申请公布日期 | 2012.09.12 |
| 申请号 | CN201120503193.4 | 申请日期 | 2011.12.06 |
| 申请人 | 有研半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 库黎明;闫志瑞;索思卓;葛钟;鲁进军;叶松芳 |
| 分类号 | B24B29/02(2006.01)I | 主分类号 | B24B29/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 一种硅片抛光用游轮片，其特征在于：由不锈钢制作而成游轮片，游轮片的厚度为0.5～1mm，游轮片中放硅片的内圆处镶嵌一圈碳纤维材料。 | ||
| 地址 | 100088 北京市西城区新街口外大街2号 | ||