加速度传感器

摘要

提供一种不需要电极部而实现传感器的小型化的加速度传感器。加速度传感器具备传感器部，上述传感器部包括：重量部（4）、（5），凹部（41）、（51）与实心部（40）、（50）形成为一体；一对横梁部（6a）、（6b）、（7a）、（7b）；可动电极（4a）、（5a）；第一固定电极；第二固定电极；检测电极；上述加速度传感器具有：上部固定板（2a），配置成与重量部（4）、（5）的可动电极（4a）、（5a）侧的面隔有规定的间隔；埋入电极（A1）～（A4），由沿厚度方向埋设在上部固定板（2a）中的硅材料构成。埋入电极（A1）～（A4）将其与可动电极（4a）、（5a）对置的一侧的端部作为上述固定电极来使用，并将另一端部作为上述检测电极来使用。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于，具备传感器部，上述传感器部包括：重量部，在一面开口的凹部和除凹部以外的实心部一体地形成；一对横梁部，以使凹部和实心部沿转动方向并列的方式，转动自由地支撑重量部；可动电极，在不同于凹部开口的上述一面的另一面中，跨过凹部和实心部而设置；第一固定电极，配设在与可动电极中的凹部一侧对置的位置；第二固定电极，配设在与可动电极中的实心部一侧对置的位置；以及检测电极，与各个固定电极电连接，检测可动电极与固定电极之间的静电电容；上述加速度传感器根据可动电极与固定电极之间的静电电容的变化来检测加速度，上述变化是伴随着以连结一对横梁部的直线为转动轴的重量部的转动而产生的，该加速度传感器具有：第一固定板，与重量部的可动电极侧的面隔有规定的间隔而配置；以及埋入电极，沿厚度方向埋设在第一固定板中；埋入电极将与该可动电极对置的一侧的端部作为上述固定电极来使用，将另一端部作为上述检测电极来使用。