具有宽带特性的干涉式光学显示系统

摘要

可通过并入相对在干涉式调制器的操作光学范围内的光波长具有低于一阈值的消光系数(k)的材料在MEMS显示装置中实现宽带白色。一个实施例提供一种制造所述MEMS显示装置的方法，所述方法包含：在透明衬底(20)的至少一部分上沉积所述材料(23)，在所述材料层上沉积介电层(24)，在所述介电质上形成牺牲层，在所述牺牲层上沉积导电层(14)，以及通过移除所述牺牲层的至少一部分而形成空腔(19)。合适的材料可包含锗、具有各种组分的锗合金、经掺杂锗或含经掺杂锗的合金，且可沉积在所述透明衬底上，并入在所述透明衬底或所述介电层内。

主权项

一种制造宽带白光MEMS显示装置的方法，其包含：提供透明衬底；以及在所述透明衬底上形成干涉式调制器的阵列，其包含：在所述透明衬底的至少一部分上沉积吸收剂，其中相对在所述干涉式调制器的操作光学范围内的光波长，所述吸收剂具有低于一阈值的消光系数k，其中所述吸收剂具有随着所述光波长在所述干涉式调制器的所述操作光学范围内增加而增加的折射率n；以及在所述吸收剂上形成可移动的反射层；借此所述干涉式调制器的阵列反射所述操作光学范围上的宽带白光。