双层密封射频激励“Z”折叠波导CO₂激光器

摘要

本发明涉及一种双层密封射频激励“Z”折叠波导CO2激光器，壳体是长方箱体，其与上部壳盖构成内真空室，折叠波导放电系统置于壳体内，所述壳体外壁外侧分别相应设有凹槽，壳体外侧的各个相邻凹槽之间的槽壁上设有互相连通的串气孔，各凹槽外部密封安装有相应的前端板、后端板、左侧板、右侧板，壳体分别与前端板、后端板、左侧板、右侧板之间形成封闭环形夹层空间，构成外真空室。内外真空室充以相同气压的相同激光工作气体，两者气压差近似为零，因而延缓漏气。本发明即延长了激光器寿命，又可以方便的局部拆卸调整电路和激光谐振腔，而且还具有激光器结构紧凑、体积小的优点。

主权项

一种双层密封射频激励“Z”折叠波导CO2激光器，其设有壳体、壳盖、折叠波导放电系统、激光谐振腔镜、电微调器、气阀、射频接头，壳体是由底、前端壁、后端壁、左侧壁、右侧壁构成的开口向上的长方形整体箱，上开口安装有壳盖，折叠波导放电系统置于壳体内，若干个激光谐振腔镜分别密封固定在壳体的前端壁、后端壁外侧光孔上，射频接头、电微调器置于壳体的左侧壁外，电微调器、射频接头、折叠波导放电系统由密封穿过壳体左侧壁的若干条电线连接，气阀密封固定在壳体的右侧壁外侧的气孔上，其特征是：所述壳体的前端壁、后端壁、左侧壁、右侧壁外侧分别相应设有前凹槽、后凹槽、左凹槽、右凹槽，壳体外侧的各个相邻凹槽之间的槽壁上设有互相连通的串气孔，前凹槽、后凹槽、左凹槽、右凹槽外部密封安装有相应的前端板、后端板、左侧板、右侧板，壳体分别与前端板、后端板、左侧板、右侧板之间形成封闭环形夹层空间；所述壳体上壳盖的外围设有矩形环状凸台，矩形环状凸台上密封安装一外盖，壳盖与外盖之间形成盖部夹层空间，壳体上矩形环状凸台里侧设有若干个通气孔，盖部夹层空间通过通气孔与环形夹层空间连通，构成整个外真空室；所述前端壁、后端壁和前端板、后端板之间分别安装有O型密封圈，左侧壁、右侧壁和左侧板、右侧板之间分别安装有O型密封圈，并用螺钉压紧；所述气阀的外圆柱面与右侧板上圆形气孔的内圆柱面之间夹紧安装有O型密封圈，形成可拆卸密封；所述壳盖、外盖和壳体之间也分别安装有O型密封圈并用螺钉压紧；所述前端板或后端板上与激光谐振腔镜的输出镜相对应位置设有光孔并密封安装有激光输出窗，左侧板上设有电孔并在其外部密封安装有射频接头，右侧板上与壳体右侧壁上气阀相对应位置设有圆形气孔，密封固定在壳体右侧壁的气阀穿过圆形气孔，向外伸出右侧板，右侧板上还密封安装有第二气阀。