| 摘要 |
<p>Fotolack-Zusammensetzungen umfassen ein Gemisch eines Phenolpolymers mit einem Copolymer auf (Meth)acrylatbasis, das frei ist von Ether-enthaltenden und/oder Carbonsäure-enthaltenden Einheiten. Das (Meth)acrylat-Copolymer umfasst ein erstes Monomer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem Alkylacrylat, einem substituierten Alkylacrylat, einem Alkyl(meth)acrylat, einem substituierten Alkylmethacrylat und Gemischen davon, und ein zweites Monomer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem Acrylat, einem (Meth)acrylat oder einem Gemisch davon mit einem säurespaltbaren Estersubstituenten; und einen Fotosäuregenerator. Es werden auch Verfahren zum Herstellen eines Fotolack-Bilds auf einem Substrat mit der Fotolack-Zusammensetzung offenbart.</p> |
