| 发明名称 | 多晶硅的制造方法及多晶硅制造用的反应炉 | ||
| 摘要 | 本发明涉及多晶硅的制造方法，其特征在于，其是使四氯化硅与锌反应而生成多晶硅的多晶硅的制造方法，从反应炉的上部供给四氯化硅蒸气和锌蒸气，使排气从该反应炉的下部排出，在该反应炉内进行四氯化硅蒸气和锌蒸气的反应，并且使生成的多晶硅在碳化硅棒上析出。根据本发明，可以提供析出棒可再次使用的利用锌还原法的多晶硅的制造方法以及反应炉。 | ||
| 申请公布号 | CN102652108A | 申请公布日期 | 2012.08.29 |
| 申请号 | CN201080056268.7 | 申请日期 | 2010.12.07 |
| 申请人 | 克斯莫石油株式会社 | 发明人 | 斋藤金次郎;宗像浩;沟口隆 |
| 分类号 | C01B33/033(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/033(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种多晶硅的制造方法，其特征在于，其是使四氯化硅与锌反应而生成多晶硅的制造方法，从反应炉的上部供给四氯化硅蒸气和锌蒸气，使排气从该反应炉的下部排出，在该反应炉内进行四氯化硅蒸气和锌蒸气的反应，并且使生成的多晶硅在碳化硅棒上析出。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||