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发明名称 CURING NON-CARBON FLOWABLE CVD FILMS
摘要
申请公布号 KR20120094490(A) 申请公布日期 2012.08.24
申请号 KR20127015177 申请日期 2010.10.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LIANG JINGMEI;HONG, SUK WON
分类号 H01L21/324;H01L21/316 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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