一种基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感方法及装置

摘要

一种基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感方法，步骤包括：先利用声光偏转器驱使激光器发射出来的激光束产生周期性偏转，用该周期性偏转的激光束来扫描微梁阵列；然后用光电位置敏感探测器时序接收微梁阵列中各微梁的弯曲变形信号，从而实时监测各微梁上的生化反应过程信息。一种使用上述方法的装置，包括激光器、声光调制器、生化反应池、微梁阵列、光电位置敏感探测器和监测单元。本发明探测光路结构简单，容易实现；扫描步进量可以任意调节，对各种间距的微梁阵列都能方便快捷的进行定位探测，灵活性较强；使用同一激光器扫描，保证了微梁阵列各根微梁上照射光源的一致性；扫描过程中没有机械转动，精度高。

主权项

一种基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感方法，其特征是步骤包括：先利用声光偏转器驱使激光器发射出来的激光束产生周期性偏转，用该周期性偏转的激光束来扫描微梁阵列；再通过光杠杆原理将微梁阵列中各微梁的弯曲变形信号放大；然后用光电位置敏感探测器PSD时序接收检测所述放大后的弯曲形变信号，从而实时监测各微梁上的生化反应过程信息。