| 发明名称 |
OPTICAL SYSTEM, IN PARTICULAR IN A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120092613(A) |
申请公布日期 |
2012.08.21 |
| 申请号 |
KR20127011154 |
申请日期 |
2010.09.08 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
HOF ALBRECHT;NEUGEBAUER DIETMAR;FREIMANN ROLF |
| 分类号 |
G01M11/00;G01B9/02;G02B13/24;G03F7/20 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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