| 摘要 |
<p>증착 재료의 변성을 방지하고 증착막 특성을 용이하게 향상할 수 있도록, 본 발명은 증착 재료를 수용하는 도가니, 상기 증착 재료를 가열하는 가열부, 상기 도가니의 일측에 배치되는 노즐부, 상기 도가니와 상기 노즐부 사이에 배치되는 제1 연결부, 상기 제1 연결부에 배치되어 상기 증착 재료가 상기 노즐부로 전달되는 것을 차단할 수 있도록 개폐동작을 하는 제1 밸브, 상기 제1 밸브와 상기 도가니 사이에 배치되는 증착 재료 회수부 및 상기 도가니와 상기 증착 재료 회수부 사이의 연결을 차단할 수 있도록 개폐동작을 하는 제2 밸브를 포함하는 증착 소스, 박막 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법을 제공한다.</p> |
