一种消除自旋阀磁敏电阻磁滞的方法

摘要

本发明公开了一种消除自旋阀磁敏电阻磁滞的方法。现有的方法工艺复杂且不适合于工业化生产。本发明方法是在制备自旋阀磁敏电阻过程中，利用反铁磁材料对自由层两端进行钉扎，在自由层两端形成被钉扎区域；被钉扎区域与未被扎区域的分界线为直线段；分界线与磁敏电阻长轴垂直方向即被钉扎方向形成夹角，且自旋阀磁敏电阻中自由层两端分界线相对于长轴垂直方向的倾斜方向相同；自由层两端被钉扎区域的钉扎方向与自旋阀磁敏电阻中的被钉扎层的钉扎方向一致；钉扎方向与磁敏电阻长轴垂直方向一致。本发明方法可以有效地消除自旋阀磁敏电阻的磁滞，使之线性化，从而达到优化器件性能的效果。

主权项

一种消除自旋阀磁敏电阻磁滞的方法，其特征在于该方法是在制备自旋阀磁敏电阻过程中，利用反铁磁材料对自由层两端进行钉扎，在自由层两端形成被钉扎区域；所述的被钉扎区域与未被扎区域的分界线为直线段；所述的分界线与磁敏电阻长轴垂直方向形成夹角Φ，0°＜Φ＜90°；且自旋阀磁敏电阻中自由层两端分界线相对于长轴垂直方向的倾斜方向相同；所述的自由层两端被钉扎区域的钉扎方向与自旋阀磁敏电阻中的被钉扎层的钉扎方向一致；所述的钉扎方向与磁敏电阻长轴垂直方向一致。