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发明名称
POSITIVE-WORKING PHOTOIMAGEABLE BOTTOM ANTIREFLECTIVE COATING
摘要
申请公布号
EP2486453(A1)
申请公布日期
2012.08.15
申请号
EP20090764035
申请日期
2009.11.12
申请人
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP.
发明人
DAMMEL, RALPH, R.;CHAKRAPANI, SRINIVASAN;PADMANABAN, MUNIRATHNA;MIYAZAKI, SHINJI;NG, EDWARD, W.;KUDO, TAKANORI;DIOSES, ALBERTO, D.;HOULIHAN, FRANCIS, M.
分类号
G03F7/09
主分类号
G03F7/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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