一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法。本发明提出一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，横梁上设置距离传感器，当显微镜镜筒过度靠近时通过警告装置发送警告信号，以提醒显微镜操作者停止显微镜靠近探针的动作，以避免因显微镜下降过度，造成显微镜的物镜撞到针座的横梁，从而造成横梁部分变形或被压断。

主权项

一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，在Cascade探针台靠近探针的横梁上设置传感器，以在显微镜镜筒过度靠近时发出警告。