| 发明名称 | 温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法，该装置包括用于从基板下方预干燥基板的加热器、用于向上支撑基板的若干温控针以及温控系统，所述温控针连接至所述温控系统，每个所述温控针可由所述温控系统单独控制温度，以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。本发明的温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置及方法可以减少玻璃基板表面的受热不均，减少Pin Mura。 | ||
| 申请公布号 | CN102633442A | 申请公布日期 | 2012.08.15 |
| 申请号 | CN201210117359.8 | 申请日期 | 2012.04.19 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 朱美娜;赵建君;施翔尹 |
| 分类号 | C03C17/32(2006.01)I | 主分类号 | C03C17/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种温控针支撑基板进行配向膜预干燥的装置，其特征在于，包括用于从基板下方预干燥基板的加热器、用于向上支撑基板的若干温控针以及温控系统，所述温控针连接至所述温控系统，每个所述温控针可由所述温控系统单独控制温度，以使基板上温控针的支撑位置与支撑位置的周围受热均匀。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||