发明名称 |
曲柄滑块式可调脉冲上下热封机构 |
摘要 |
本实用新型公开了曲柄滑块式可调脉冲上下热封机构,它包括步进电机,步进电机与上下驱动摆杆一端联接,驱动摆杆另一端联接凸轮轴承,上下随动板上的长条孔与凸轮轴承做相切配合,上下随动板联接双滑轨安装板,双滑轨安装板背部通过安装在其上的两个平行设置的滑块与安装在后大立板上的两个滑轨上下往复运动相滑动配合,在所述的双滑轨安装板底部联接有热封执行组件。本机构用稳定的电压取代不太稳定的气压做动力,保证了机构每次下压力量的一致均匀,更能通过调整步进电机的脉冲数设定机构的下压高度,简单快捷。 |
申请公布号 |
CN202384301U |
申请公布日期 |
2012.08.15 |
申请号 |
CN201120002711.4 |
申请日期 |
2011.01.06 |
申请人 |
天津伍嘉联创科技发展有限公司 |
发明人 |
刘金波;付廷喜;付玉磊;李向前;袁东秀;张晋 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01)I |
代理机构 |
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
代理人 |
王丽英 |
主权项 |
曲柄滑块式可调脉冲上下热封机构,其特征在于:它包括步进电机,步进电机与上下驱动摆杆一端联接,驱动摆杆另一端联接凸轮轴承,上下随动板上的长条孔与凸轮轴承做相切配合,上下随动板联接双滑轨安装板,双滑轨安装板背部通过安装在其上的两个平行设置的滑块与安装在后大立板上的两个滑轨上下往复运动相滑动配合,在所述的双滑轨安装板底部联接有热封执行组件。 |
地址 |
300451 天津市塘沽区新北路4668号创新创业园31-A5层 |