旋转抛光垫

摘要

本发明提供了一种平面抛光垫，其包括多个可变尺寸的孔。在朝向垫中心的区域中所述孔通常较大，而在朝向所述垫周边的区域中所述孔通常较小。一些实施例还包括沿着一个或多个同心圆环设置的孔，所述一个或多个同心圆环沿着所述正面布置并且关于旋转轴线大致对称。孔的这些构造可实现优良的切削性能和高级的光洁度。此外，这些构造使得抛光操作中一些不可取的状况减至最轻程度，诸如随着旋转垫在整个待抛光表面上滑动，抛光膏抛洒、振动、颤摆以及操作工感到的拖拽。

主权项

一种旋转抛光垫，包括：基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋转轴线，所述基板进一步包括：内部区域，邻近并围绕所述旋转轴线；外部区域，包围所述内部区域；具有第一平均尺寸的多个第一孔，位于所述内部区域内，并且从所述正面朝着所述背面延伸；以及具有第二平均尺寸的多个第二孔，位于所述外部区域内，并且从所述正面朝着所述背面延伸，其中所述第一平均尺寸大于所述第二平均尺寸。