支撑销

摘要

本发明系关于一种应用于乾蚀刻装置之支撑销，其包含有一固锁座、一支臂以及一本体，分别以可拆卸组装之设计组合成一个整体单元。由于本发明支撑销系利用可拆卸之组装设计，大幅减少需要更替部份所占之支撑销体积，进而有效解决目前乾蚀刻机台中耗材更换所造成之不必要的成本消耗。