发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR PURIFYING SILICON TETRACHLORIDE OR GERMANIUM TETRACHLORIDE CONTAINING HYDROGEN COMPOUNDS
摘要
申请公布号 KR101172927(B1) 申请公布日期 2012.08.10
申请号 KR20077001609 申请日期 2005.06.10
申请人 发明人
分类号 C01B33/107;B01J19/08;C01G17/04 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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