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发明名称 Irradiation system with ion beam/charged particle beam
摘要
申请公布号 KR101169963(B1) 申请公布日期 2012.08.09
申请号 KR20050099009 申请日期 2005.10.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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