检测薄膜场效应晶体管阵列基板的设备及方法

摘要

本发明实施例提供一种检测TFT阵列基板的设备及方法，涉及液晶显示技术领域，能够利用一台设备检测出TFT阵列基板上的电学性和光学性不良，简化了检测工序，提高了检测效率。本发明实施例提供的设备包括：包括承载待检测TFT阵列基板的透光载台，透光载台的一侧设有光源，另一侧设有与透光载台平行的调制器；光源发出的光线透过第一偏光片垂直照射到透光载台；调制器包括：液晶层和分别位于液晶层两侧的两个透明基板层，并且其中一个远离透光载台的透明基板层为导电透明基板层，该导电透明基板层上设有第二偏光片；该设备还包括光接收器，光接收器接收光源发射出的透过透光载台、待测TFT阵列基板和调制器的光线。

主权项

一种检测薄膜场效应晶体管阵列基板的设备，其特征在于，包括承载待检测薄膜场效应晶体管阵列基板的透光载台，所述透光载台的一侧设有光源，另一侧设有与所述透光载台平行的调制器(Modulator)；所述光源发出的光线透过第一偏光片垂直照射到所述透光载台；所述调制器包括：液晶层和分别位于液晶层两侧的两个透明基板层，并且其中一个远离所述透光载台的透明基板层为导电透明基板层，所述导电透明基板层上设有第二偏光片；所述设备还包括光接收器(Camera)，所述光接收器接收光源发射出的透过所述透光载台、待测TFT阵列基板和调制器的光线。