成膜测机托盘

摘要

一种成膜测机托盘，包括具有第一侧及第二侧的盘体，第一侧处具有与其轴向平行并朝下的第一垂直缺口，第二侧处具有其轴向平行并朝上的第二垂直缺口，盘体更具有生产置放区及测试置放区，生产置放区邻近第二侧设置，并设置有具有预定尺寸的至少一第一凹槽以供相对第一凹槽的尺寸与数量的太阳能薄膜基板容置，测试置放区邻近第一侧设置，并设置有相对应第一凹槽数量的至少一第二凹槽以供具有与太阳能薄膜基板相同的电路设计的经裁切的小尺寸基板容置；由此直接对经裁切的小尺寸基板进行接触性检测，避免破坏太阳能薄膜基板及影响制程良率。

主权项

成膜测机托盘，其包括一盘体，具有一第一侧及一第二侧，该第一侧处具有与该第一侧轴向平行并朝下的一第一垂直缺口，该第二侧处具有该第二侧轴向平行并朝上的一第二垂直缺口，其特征在于：该盘体具有一生产置放区及一测试置放区，该生产置放区邻近该第二侧设置，该生产置放区设置有具有一预定尺寸的至少一第一凹槽，供相对该第一凹槽的尺寸与数量的太阳能薄膜基板容置，该测试置放区邻近该第一侧设置，该测试置放区设置有相对应该第一凹槽数量的至少一第二凹槽，供具有与该太阳能薄膜基板相同的一电路设计的一经裁切的预定尺寸基板容置。