发明名称 半导体封装结构及其制造方法
摘要 本发明关于一种半导体封装结构及其制造方法,本发明的制造方法利用一模具覆盖于导电元件上,该模具的一内表面具有一薄膜,该薄膜接触芯片的一表面,且该薄膜容置这些导电元件的部分,使一封胶材料包覆基板的第一表面、该芯片及部分这些导电元件,且暴露该芯片的该表面。由于利用该薄膜接触该芯片的该表面,且该薄膜容置这些导电元件的部分,以使部分这些导电元件及该芯片的该表面暴露,故不须已知移除部分封胶材料的步骤,及不须移除残胶,也不会造成焊球表面的污染。因此可简化工艺、缩短工艺时间及降低制造成本,以利于量产。
申请公布号 CN102623359A 申请公布日期 2012.08.01
申请号 CN201210112147.0 申请日期 2012.04.17
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 洪嘉临
分类号 H01L21/56(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L25/00(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 主分类号 H01L21/56(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 陆勍
主权项 一种半导体封装结构的制造方法,包括以下步骤:(a)提供一基板,该基板具有一第一表面及一第二表面;(b)形成数个导电元件于该基板的该第一表面;(c)设置一芯片至该基板的该第一表面,且该芯片电性连接至该基板;(d)覆盖一模具于该基板上,该模具的一内表面具有一薄膜,该薄膜接触该芯片的一表面,且该薄膜容置所述导电元件的部分;及(e)形成一封胶材料以包覆该基板的该第一表面、该芯片及部分所述导电元件,且暴露该芯片的该表面。
地址 中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三路26号