被加工物载置固定用工作台的制造方法

摘要

本申请的发明为被加工物载置固定用工作台的制造方法。本发明提供一种容易进行加工且能稳定地保持被加工物的激光加工装置用的工作台。在激光加工装置中载置固定被加工物的工作台的制造方法包括如下步骤：准备平板状的玻璃板；在玻璃板的一主面的吸引用槽的形成预定位置，通过喷砂处理而形成粗糙槽；及蚀刻粗糙槽的表面而获得吸引用槽。吸引用槽的形成预定位置包含俯视时呈蜂窝状配置的区域。

主权项

一种被加工物载置固定用工作台的制造方法，该工作台是在激光加工装置中载置固定被加工物，该被加工物载置固定用工作台的制造方法的特征在于包括如下步骤：准备平板状的玻璃板；在所述玻璃板的一主面的吸引用槽的形成预定位置，通过喷砂处理而形成粗糙槽；及蚀刻所述粗糙槽的表面而获得所述吸引用槽。