发明名称 | 用于清洁载体处的基质的方法和装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于清洁载体处的基质的装置和方法,基质彼此平行地相互以小的间距固定在载体的下侧处,载体在其内部中具有多个彼此平行地伸延的纵向通道。通过锯碎晶片,纵向通道利用开口过渡到基质之间的间隙中。通过相对运动将从中施加清洁液的长形的管引入纵向通道中的一个中,其中,基本上通过载体的运动实现相对运动。 | ||
申请公布号 | CN102612759A | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
申请号 | CN201080034667.3 | 申请日期 | 2010.07.22 |
申请人 | 吉布尔·施密德有限责任公司 | 发明人 | S·沃尔姆;R·胡贝尔 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 肖日松;杨国治 |
主权项 | 一种用于清洁载体处的基质的方法,其中,所述基质通过粘紧彼此平行地相互以小的间距利用端侧固定在平的长形的载体的下侧处,其中,所述载体在其内部中具有多个彼此平行地伸延的纵向通道,其在所述载体的下侧处过渡到所述基质之间的间隙中,其中,通过相对运动将长形的管引入所述纵向通道中的至少一个中,其中,从所述管中施加清洁液或其它流体,其中,基本上通过所述载体的运动实现所述相对运动。 | ||
地址 | 德国弗罗伊登斯塔特 |