发明名称 经表面改质的感测元件及其表面改质方法
摘要 本发明是有关于一种感测元件的表面改质方法,包括以下步骤:提供一感测元件,其中,该感测元件表面具有一金属薄膜;利用异丙醇等离子体,于该感测元件的该金属薄膜上,形成一具有多个羧基的表面改质层;以及于该表面改质层上,形成一聚丙烯酸层,其中,该聚丙烯酸层的聚丙烯酸是接枝于该表面改质层的所述羧基。本发明另关于一种经表面改质的感测元件。
申请公布号 CN102608304A 申请公布日期 2012.07.25
申请号 CN201110030438.0 申请日期 2011.01.19
申请人 福华电子股份有限公司 发明人 张舒婷;叶筱玲;曹育嘉;张荣监;曹嘉惠;陈克绍
分类号 G01N33/50(2006.01)I;G01N21/41(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I 主分类号 G01N33/50(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种感测元件的表面改质方法,包括以下步骤:提供一感测元件,其中,该感测元件表面具有一金属薄膜;利用异丙醇等离子体,于该感测元件的该金属薄膜上,形成一具有多个羧基的表面改质层;以及于该表面改质层上,形成一聚丙烯酸层,其中,该聚丙烯酸层的聚丙烯酸接枝于该表面改质层的所述羧基。
地址 中国台湾台北市