发明名称 |
经表面改质的感测元件及其表面改质方法 |
摘要 |
本发明是有关于一种感测元件的表面改质方法,包括以下步骤:提供一感测元件,其中,该感测元件表面具有一金属薄膜;利用异丙醇等离子体,于该感测元件的该金属薄膜上,形成一具有多个羧基的表面改质层;以及于该表面改质层上,形成一聚丙烯酸层,其中,该聚丙烯酸层的聚丙烯酸是接枝于该表面改质层的所述羧基。本发明另关于一种经表面改质的感测元件。 |
申请公布号 |
CN102608304A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201110030438.0 |
申请日期 |
2011.01.19 |
申请人 |
福华电子股份有限公司 |
发明人 |
张舒婷;叶筱玲;曹育嘉;张荣监;曹嘉惠;陈克绍 |
分类号 |
G01N33/50(2006.01)I;G01N21/41(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01N33/50(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种感测元件的表面改质方法,包括以下步骤:提供一感测元件,其中,该感测元件表面具有一金属薄膜;利用异丙醇等离子体,于该感测元件的该金属薄膜上,形成一具有多个羧基的表面改质层;以及于该表面改质层上,形成一聚丙烯酸层,其中,该聚丙烯酸层的聚丙烯酸接枝于该表面改质层的所述羧基。 |
地址 |
中国台湾台北市 |