| 发明名称 | 真空镀膜装置 | ||
| 摘要 | 一种真空镀膜装置，包括真空镀膜室、承载架及镀膜源，所述真空镀膜室的顶部设有旋转马达，承载架与旋转马达相连，并悬挂在真空镀膜室的位置；所述镀膜源设置在镀膜室的底部；所述承载架上连接设有至少两个行星工件盘；还包括一修正板，该修正板固设于镀膜源和行星工件盘的之间。本方案解决了现有技术中镀膜室内的光学薄膜厚度分布的不均匀的问题，从而提高光学薄膜元件的质量和成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN202347082U | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201120416986.2 | 申请日期 | 2011.10.28 |
| 申请人 | 苏州灵菱照明镀膜科技有限公司 | 发明人 | 朱文斌 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种真空镀膜装置，包括真空镀膜室(1)、承载架(2)及镀膜源(3)，所述真空镀膜室(1)的顶部设有旋转马达，承载架(2)与旋转马达相连，并悬挂在真空镀膜室(1)的中央位置；所述镀膜源(3)设置在镀膜室的底部；其特征在于：所述承载架(2)上连接设有至少两个行星工件盘(5)；还包括一修正板(4)，该修正板(4)固设于镀膜源(3)和行星工件盘(5)的之间。 | ||
| 地址 | 215101 江苏省苏州市木渎镇金桥开发区走马塘路 | ||