用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法

摘要

用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法，其特征在于采用以下步骤：将P型掺硼硅片固定在电解池中，以乙醇和氢氟酸作为电解液，以硅片为阳极，铂电极为阴极，在一定电流条件下进行电解刻蚀；将刻蚀后的硅片在600℃下快速热氧化处理；在多孔硅片表面均匀地涂覆羧甲基纤维素丙酮溶液，成膜后浸泡于酸碱敏感染料溶液中，取出干燥后，制成所需的氨敏材料。本发明与现有技术比较，具有如下突出的优点：1)多孔材料比表面积大，灵敏度高；2)工作温度为常温；3)信号响应及恢复速度快；4)本氨敏材料的半峰宽度可以控制在10nm以内，分辨率高；5)使用寿命为4年；6)体积小，利于传感器的微型化，集成化。

主权项

一种用于检测空气中氨浓度的氨敏材料的制备方法，其特征在于采用以下步骤：A)、将P型掺硼硅片固定在电解池中，按体积比为1∶4～6的比例加入乙醇和重量浓度为40％的氢氟酸作为电解液，以硅片为阳极，铂电极为阴极，进行电解刻蚀，设定电流强度波动范围为15～75mA，每个波动周期为5秒，重复波动次数为30～75次，刻蚀后的硅片用乙醇冲洗干净，再用氮气吹干；B)、将上述刻蚀后的硅片在600℃下快速热氧化处理1小时，形成表面具有反射和光过滤性能的多孔硅片；C)、在多孔硅片表面均匀地涂覆重量浓度为5％的羧甲基纤维素丙酮溶液，成膜后将多孔硅片浸泡于重量浓度为1～5mg/mL的酸碱敏感染料溶液中，浸泡时间为5～30分钟，取出干燥后，制成所需的氨敏材料；酸碱敏感染料采用溴酚蓝、溴百里香酚蓝、溴甲酚绿、溴甲酚紫、次甲基蓝中的任意一种。