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发明名称 CVD REACTOR
摘要
申请公布号 EP2475804(A1) 申请公布日期 2012.07.18
申请号 EP20100751613 申请日期 2010.08.30
申请人 AIXTRON AG 发明人 STRAUCH, GERHARD KARL;BRIEN, DANIEL;DAUELSBERG, MARTIN
分类号 C23C16/46;C23C16/52 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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