形状测量装置及形状测量方法

摘要

本发明的MOCVD装置(形状测量装置)利用使作为被测定物的基板移动的移动平台(旋转台)、利用由激光光线所产生的多普勒效应的速度测量单元(21)、被测定物检测单元(25)、运算处理单元(24)、以及记录单元，来测定被测定物的形状。运算处理单元(24)包括：提取出被测定物的速度的被测定物速度提取单元(24a)；根据速度数据来计算出速度平均值的速度平均计算单元(24b)；从速度数据中减去速度平均值的减法单元(24c)；以及对速度进行积分的累计单元(24d)。

主权项

一种形状测量装置，包括：利用多普勒效应的速度测量单元；对被测定物的位置进行检测的被测定物检测单元；以及对被测定物的形状进行运算的运算处理单元，该形状测量装置的特征在于，所述运算处理单元包括：被测定物速度提取单元，该被测定物速度提取单元对从所述速度测量单元和所述被测定物检测单元输出的信号进行算术处理，从而计算出被测定物的速度；速度平均计算单元，该速度平均计算单元利用所述被测定物速度提取单元所输出的至少一部分信号，来计算出被测定物的速度平均值；减法单元，该减法单元从所述被测定物速度提取单元所计算出的速度中减去所述速度平均值；以及积分单元，该积分单元对所述减法单元所获得的速度进行时间积分。