电源模块用基板的制造方法、电源模块用基板和电源模块

摘要

本发明提供一种电源模块用基板的制造方法，可容易且以低成本得到切实地接合金属板和陶瓷基板的、冷热循环可靠性高的电源模块用基板。该制造方法具有：在陶瓷基板的接合面和金属板的接合面的至少一面粘合Si，形成包含0.002mg/cm2以上且1.2mg/cm2以下的Si的Si层的Si粘合工序S1；通过Si层层压陶瓷基板和金属板的层压工序S2；在陶瓷基板和金属板的界面形成熔融金属区域的加热工序S3；和通过使熔融金属区域凝固而接合陶瓷基板和金属板的凝固工序S4，在加热工序S3中，通过使Si层的Si扩散到金属板侧而在陶瓷基板和金属板的界面形成熔融金属区域。

主权项

一种电源模块用基板的制造方法，为在陶瓷基板的表面层压接合由铝构成的金属板的电源模块用基板的制造方法，其特征在于，具有：在所述陶瓷基板的接合面和所述金属板的接合面的至少一面粘合Si，形成包含0.002mg/cm2以上且1.2mg/cm2以下的Si的Si层的Si粘合工序；通过该Si层层压所述陶瓷基板和所述金属板的层压工序；将层压的所述陶瓷基板和所述金属板在层压方向上加压并加热，在所述陶瓷基板和所述金属板的界面形成熔融金属区域的加热工序；和通过使该熔融金属区域凝固而接合所述陶瓷基板和所述金属板的凝固工序，在所述加热工序中，通过使所述Si层的Si扩散到所述金属板侧，在所述陶瓷基板和所述金属板的界面形成由Al‑Si共晶系构成的所述熔融金属区域。