无电电镀之设备及方法

摘要

本发明提供一种无电电镀室。该无电电镀室包含一夹头及一碗状容器，该夹头用以支撑一基板，而该碗状容器用以包围该夹头之一基座及一侧壁。该基座具有沿着该基座之内径所界定之环状通道。该容室包含一连接至该环状通道的排液管。该排液管能够移除从该夹头所收集的流体。能够清洁及实质上乾燥该基板的一近接头包含于该容室中。本发明亦提供一种无电电镀操作的执行方法。