硅切削废液的处理方法

摘要

本发明涉及硅切削废液的处理方法。在含有固体成分的微粒分散的悬浮液即硅切削废液中，添加极性非质子型溶剂、极性质子型溶剂、非离子型凝集剂、乙二胺多价酸及其盐等的相分离成分，使废液中的固相凝集沉淀，在废液处理的最初阶段确保良好的固液分离，使得废液中的有用成分的分离回收容易。提供使得在以半导体元件制造等晶体硅为基材的加工工序中排出的硅切削废液良好地固液分离、以低负担且低成本分离回收硅切屑等的含有的有用成分供再生及再利用的处理方法。

主权项

一种硅切削废液的处理方法，其特征在于：在半导体元件制造等因晶体硅切削加工产生的硅切屑等分散悬浮的硅切削废液中，添加相分离成分，进行固液分离。