发明名称 一种传动轮清洁系统
摘要 本实用新型涉及一种传动轮清洁系统,具体地讲涉及一种在薄膜太阳能电池生产过程中能够清洁传动轮上粉末的清洁系统。其包括传动轮、伸缩杆和工艺腔室侧壁,传动轮通过伸缩杆与工艺腔室侧壁连接,还包括一端固定于传动轮下方的工艺腔室侧壁上的传动轮清洁装置。本实用新型克服了粉末附着于玻璃的受光面或加热板上,从而影响激光划刻、热传导、膜厚等的缺陷。
申请公布号 CN202332941U 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201120513206.6 申请日期 2011.12.09
申请人 汉能科技有限公司 发明人 张超
分类号 H01L31/18(2006.01)I;B08B1/02(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种传动轮清洁系统,包括传动轮(2)、伸缩杆(9)和工艺腔室侧壁(8),传动轮(2)通过伸缩杆(9)与工艺腔室侧壁(8)连接,其特征在于还包括一端固定于传动轮(2)下方的工艺腔室侧壁(8)上的传动轮清洁装置。
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