含金属盐的组合物、基板及基板的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供可应用于多种金属原料且能够用于形成与溅射法相同程度的致密、均匀的金属氧化物被膜的含金属盐的组合物、使用该含金属盐组合物而得到的表面形成有金属复合体膜的基板、通过对该基板再进行加热而得到的表面形成有金属复合体膜的基板。本发明的目的还在于提供这样的表面形成有金属复合体膜的基板的制造方法。本发明中，使用涂布法将含金属盐的组合物涂布于基板上，所述含金属盐的组合物含有金属盐、具有顺式结构的多元羧酸和溶剂，其中，多元羧酸对金属盐的摩尔比为0.5以上4.0以下，水分含量为0.05重量％以上。然后，进行两阶段的加热处理。

主权项

一种含金属盐的组合物，其为含有金属盐、具有‑C(COOH)＝C(COOH)‑的顺式结构的多元羧酸和溶剂的含金属盐的组合物，其特征在于，多元羧酸对金属盐的摩尔比为0.5以上4.0以下，水分含量为0.05重量％以上，用于通过涂布于基板上进行烧成来形成金属氧化物薄膜。