原位温度测试装置

摘要

本实用新型实施例提供了原位温度测试装置，包括：光源，位于衬底下方，所述光源用于产生宽光谱信号，所述宽光谱信号用于照射所述衬底的下表面；宽光谱信号获取单元，用于获得透过所述衬底或沉积材料层的宽光谱信号；宽光谱信号分析单元，用于对所述宽光谱信号获取单元获得的宽光谱信号进行分析，获得该宽光谱信号的吸收光谱曲线，根据所述吸收光谱曲线，获得由于衬底或沉积材料层对宽光谱信号的禁带吸收所对应的特征波长，根据所述特征波长获得对应的衬底或沉积材料层的禁带宽度，根据材料的禁带宽度与温度的关系曲线，确定所述衬底或沉积材料层的温度，从而利用本实用新型实施例的原位温度测试装置可以准确监控衬底温度与衬底的温度分布。

主权项

一种原位温度测试装置，用于在气相沉积工艺过程中对衬底或衬底上的沉积材料层的温度进行测试，其特征在于，包括：光源，位于衬底下方，所述光源用于产生宽光谱信号，所述宽光谱信号用于照射所述衬底的下表面；宽光谱信号获取单元，用于获得透过所述衬底或沉积材料层的宽光谱信号；宽光谱信号分析单元，用于对所述宽光谱信号获取单元获得的宽光谱信号进行分析，获得该宽光谱信号的吸收光谱曲线，根据所述吸收光谱曲线，获得由于衬底或沉积材料层对宽光谱信号的禁带吸收所对应的特征波长，根据所述特征波长获得对应的衬底或沉积材料层的禁带宽度，根据材料的禁带宽度与温度的关系曲线，确定所述衬底或沉积材料层的温度。