涡流测量中的频率选择方法以及淬火深度测量方法

摘要

本发明的课题是提供一种涡流测量中的频率选择方法，可以降低或排除测量精度的温度依赖性，并且适当且容易地选择用于涡流测量的交流励磁信号的不同的两种频率的组合。通过励磁线圈(111)对测量对象物(102)施加不同的三种以上频率的交流励磁信号以使感应电流产生，并通过检测线圈(121)来检测对应于各频率的检测信号，基于对应于各频率的检测信号来计算出对应于各频率的交流励磁信号和检测信号的相位差，在对应于各频率的交流励磁信号和检测信号的相位差之中抽取相位差之差处于规定范围的两种频率的组合，通过将该组合中的两种频率之中较低一方的频率设为第一频率并且将较高一方的频率设为第二频率来选择两种频率的组合。

主权项

一种涡流测量中的频率选择方法，在该涡流测量中，通过励磁线圈对测量对象物施加第一频率以及不同于上述第一频率的第二频率的交流励磁信号以使上述测量对象物产生分别对应于上述第一频率以及上述第二频率的由涡电流组成的感应电流，并通过检测线圈来检测出起因于分别对应于上述第一频率以及上述第二频率的感应电流的检测信号，基于对应于上述第一频率的检测信号的振幅值Y1、对应于上述第一频率的交流励磁信号和检测信号的相位差X1、对应于上述第二频率的检测信号的振幅值Y2、以及对应于上述第二频率的交流励磁信号和检测信号的相位差X2来计算出以下数学式1所示的差值D，并基于上述差值D对测量对象物进行测量，该涡流测量中的频率选择方法具有：频率选择用励磁及检测步骤，其通过上述励磁线圈对上述测量对象物施加不同的三种以上频率的交流励磁信号以使上述测量对象物产生分别对应于上述不同的三种以上频率的感应电流，并通过上述检测线圈来检测出起因于分别对应于上述不同的三种以上频率的感应电流的检测信号；相位差计算步骤，其基于在上述频率选择用励磁及检测步骤中检测出的起因于分别对应于上述不同的三种以上频率的感应电流的检测信号，来计算出分别对应于上述不同的三种以上频率的交流励磁信号和检测信号的相位差；以及频率抽取步骤，其在上述相位差计算步骤中计算出的上述不同的三种以上频率之中，抽取相位差的差值包含零、且该相位差的差值的下限值以及上限值尽量接近零的两种频率的组合，将该组合中的两种频率之中较低一方的频率设为上述第一频率，并且将较高一方的频率设为上述第二频率，[数学式1] D = X 1 2 + Y 1 2 - X 2 2 + Y 2 2 X 2 2 + Y 2 2 .