| 发明名称 | 一种电镀机台退火腔体气体管路 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种电镀机台退火腔体气体管路，包括：多个退火腔体；气体总管路，通过多个气体分支管路连接于所述多个退火腔体，其中，所述每个气体分支管路与气体总管路连接处设置有质量流量计。本发明提出的电镀机台退火腔体气体管路，通过在原有退火模块的气体管路中增加通向每个退火腔体的质量流量计，来精确控制通向每个腔体的气体比例，从而使退火后的铜薄膜物理性质趋于一致，带来稳定的金属铜互连线。 | ||
| 申请公布号 | CN102534713A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201210048766.8 | 申请日期 | 2012.02.28 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 苏亚青;文静 |
| 分类号 | C25D5/50(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I;C21D1/74(2006.01)I;C21D1/26(2006.01)I;C21D9/00(2006.01)I | 主分类号 | C25D5/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 陆花 |
| 主权项 | 一种电镀机台退火腔体气体管路，其特征在于，包括：多个退火腔体；气体总管路，通过多个气体分支管路连接于所述多个退火腔体，其中，所述每个气体分支管路与气体总管路连接处设置有质量流量计。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 | ||