一种射频激励气体激光器

摘要

本实用新型公开了一种射频激励气体激光器，包括板条状密封放电室、放电电极、设有水流进出口的水冷通道、设有回气管的储气室、匹配网络、通过匹配网络与放电电极连接的射频电源、开有通光孔的金属套罩和谐振腔，其特征在于：所述放电电极位于板条状密封放电室的左右两侧外。本实用新型通过使用射频电源，使放电过程更加稳定，更大功率的激光输出；设于放电室左右两侧外的放电电极使得放电过程中不会出现电极溅射污染；放电电极的间距大，不需要连入放电室的电极引线，减少了漏点，提高了放电室的密封性能，激光器的换气时间和使用寿命大大增长，具有电极结构简单、安装方便、成本低、整体结构更加紧凑、体积更加小巧、放电过程更加稳定的特点。

主权项

一种射频激励气体激光器，包括由非金属材料制成的板条状密封放电室(1)、放电电极(2)、设有水流进出口(8)的水冷通道(3)、设有回气管(9)的储气室(4)、匹配网络(5)、通过匹配网络(5)与放电电极(2)连接的射频电源(6)、开有通光孔(13)的金属套罩(7)和谐振腔，其特征在于：所述放电电极(2)位于板条状密封放电室(1)的左右两侧外。