光学滤光膜以及光学滤光膜的制造方法

摘要

本发明的光学滤光膜是用研磨机研磨加工基体的两主面。基体的两主面经研磨过后，用蒸镀法在基体的其中一主面蒸镀形成第1侧膜。然而，膜蒸镀形成时，对其中一主面施加应力，使其中一主面所对向的端边往另一主面侧的方向畸变。第1膜形成制程之后，根据对其中一主面形成第1侧膜所造成的畸变量，来设定对另一主面之应力修正膜的蒸镀量，应力修正膜的厚度设定为相当于单层膜的厚度。然后，用蒸镀法，使应力修正膜蒸镀形成在另一主面，修正对其中一主面形成第1侧膜所造成的畸变来制造光学滤光膜。