| 摘要 |
Die Erfindung gehört zum Bereich der Materialforscnachfolgender Erhaltung der Bilddarstellung, und zwar zu den Abtastverfahren und die Einrichtungen für die tomographische Untersuchung des zweidimensionalen Systems der flachen Objekte. Die Aufgabe dieser angemeldeten Erfindung besteht in der Bildung der Verfahrensentwicklung der nanodimensionalen oder der mikroskopischen Objekte mit der Auflösung von 30 nm, und auch der Einrichtung für die Verfahrensrealisierung. Diese Aufgabe wird auch nach folgender Weise gelöst: im Abtastmikroskop, das die Strahlungsquelle 1 enthält, den undurchsichtigen in der Strahlenaufrichtung liegenden Bildschirm 2 mit einem Spalt, den Objektivtisch 4 für das Aufstellen des Untersuchungsobjekts, der die Bewegungseinrichtung in der Abtastebene 7, den Strahlendetektor 8, der mit dem Block der Informationsverarbeitung 9 verbunden ist. Gemäß der technischen Anweisung hat der undurchsichtige Bildschirm mit dem wenigstens einen beweglichen Spaltschieber 3 eine Möglichkeit, die Querabmessung des Spaltes zu verändern.
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