X射线管和X射线分析设备

摘要

本发明公开了X射线管和X射线分析设备，其比目前的更小更轻，且以增强的灵敏度更有效地检测荧光X射线。X射线管包括真空封闭件，设置在该封闭件中并发射电子束的电子束源，被电子束照射并产生主X射线的目标件，X射线检测器装置，以及设置在窗口一部分的上方并从目标件延伸到上述封闭件的金属热电导体单元。上述封闭件具有真空内部和由透射X射线的X射线透射膜构成的窗口。上述目标件的外直径比所述窗口小，且被设置在该窗口的以使主X射线能够穿过该窗口射到外部样品。检测器装置置于封闭件中使其能检测荧光的和从样品释放后从窗口进入的散射X射线。检测器装置输出携带有与荧光的和散射的X射线的能量有关信息的信号。

主权项

一种X射线管，包括：真空封闭件，所述真空封闭件具有真空内部和由透射X射线的X射线透射膜构成的窗口；电子束源，所述电子束源设置在所述真空封闭件内部并发射电子束；目标件，所述目标件设置在所述窗口的上方且用所述电子束照射以此产生主X射线，所述主X射线穿过所述窗口射到外部样品，所述目标件的外直径比所述窗口小；X射线检测器装置，该X射线检测器装置设在所述真空封闭件内部，且用于检测在从所述样品释放后从所述窗口进入的荧光X射线和散射X射线，并用于输出携带了与所述荧光X射线和散射X射线的能量有关的信息的信号；以及金属热电导体单元，所述金属热电导体单元设置在所述窗口的一部分的上方，并从所述目标件延伸到所述真空封闭件。