双频激光干涉测量装置

摘要

本发明涉及一种双频激光干涉测量装置。装置包括三个部分，包括光源分光光路部分、测量光路部分及相位差90°接收信号部分。光源分光光路将入射光源分成两束有频差的激光，进入测量光路部分；经测量反射镜和参考反射镜两次反射实现光学倍程后，被相位差90°接收信号部分的光电接收器接收。本发明采用了声光移频装置，使测量光和参考光从一开始就分开，避免频率混叠；此干涉仪还采用偏振分光、偏振接收技术，因而能够得到对比度好，细分精度高的干涉信号。

主权项

一种双频激光干涉测量装置，其特征在于，装置包括三个部分，包括光源分光光路部分(1)、测量光路部分(2)及相位差90°接收信号部分(3)，光源分光光路(1)中依次安放第一分光棱镜(1‑2)，直角反射镜(1‑3)、声光调制器(1‑4、1‑5)、准直器(1‑6、1‑7)，入射光源被分成两束有频差的激光，进入测量光路部分(2)；测量光路部分(2)中分别依次放入偏振分光棱镜(2‑1、2‑2、2‑8)和消偏振分光棱镜(2‑10)、直角反射镜(2‑9)、1/4波片(2‑3、2‑7)，经测量反射镜(2‑5)和参考反射镜(2‑4、2‑6)两次反射实现光学倍程后，被光电接收器(2‑11)接收；相位差90°接收信号部分(3)依次置入1/2波片(3‑1)、第二分光棱镜(3‑2)、1/4波片(3‑3)、第三分光棱镜(3‑4)、偏振片(3‑5、3‑6)和光电接收器(3‑7、3‑8)。