一种准分子激光气配置装置的钝化方法

摘要

一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于：其包括以下步骤，步骤一：钝化前处理：清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤二：钝化处理：在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤三：通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。使用分子量小扩散能力强的He气体替代了现有技术中N2，并且变化了钝化的温度条件，因此，氧化膜的形成稳定而且致密，因渗透程度的增加而坚韧牢固，有效的防治了金属基体的进一步腐蚀。配置的准分子激光器输出能量稳定，能量分布均匀。完全能满眼科手术激光治疗的要求，并且成本低。

主权项

一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于：其包括以下步骤，步骤一：钝化前处理：清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤二：钝化处理：在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤三：通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。