VORRICHTUNG ZUR PLASMAUNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNG VON SUBSTRATEN,申请号DE19925008363-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUR PLASMAUNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号	DE59208363(D1)	申请公布日期	1997.05.22
申请号	DE19925008363	申请日期	1992.06.09
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE	发明人	HEINRICH, FRIEDHELM, D-1000 BERLIN 41, DE;HOFFMANN, PETER, D-1000 BERLIN 21, DE
分类号	C23C14/34;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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