一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜

摘要

一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜，包括紫外臭氧发生模块、空调模块、气体管理模块和智能单元，紫外臭氧发生模块对真空紫外光学元件的清洁处理；空调模块实现真空紫外光学元件清洁/存放过程中干燥柜内温度和湿度的控制；气体管理模块完成真空紫外光学元件清洁和存放过程中干燥柜内气体管理；智能单元控制真空紫外光学元件清洁/存放的全部过程。本发明能快速除去真空紫外光学元件上的碳氢根污染物，并阻止水汽对真空紫外光学元件光学性能的不利影响，有效地避免由于存储方式不当造成的真空紫外光学元件性能退化，尤其适用于真空紫外光学元件的清洁和存放。

主权项

一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜，其特征在于：包括紫外臭氧发生模块(1)、空调模块(2)、气体管理模块(3)和智能单元(4)，其中：紫外臭氧发生模块(1)，主要由紫外光光源构成；所述的紫外光光源为熔融石英或其它紫外光学材料外套的汞灯、准分子紫外灯或者紫外波长的激光，辐射波长低于300nm；所述紫外臭氧发生模块(1)通过智能单元(4)控制，由智能单元(4)设定紫外光辐照时间，并启动紫外臭氧发生模块(1)达到对真空紫外光学元件的清洁处理的功能；空调模块(2)，由空调机、温度和湿度传感器组成；所述的空调机具有对紫外臭氧干燥柜内的温度和湿度控制功能；空调模块(2)通过智能单元(4)控制，由智能单元(4)设定紫外臭氧干燥柜内的温度和湿度参数，并启动空调模块(2)实现紫外臭氧干燥柜内温度和湿度的控制；气体管理模块(3)，主要包括气体控制部件和尾气处理装置；所述气体控制部件用于控制输入或输出口气体的流速，工作中根据需要选择输入不同种类的气体；所述的尾气处理装置用于清除紫外臭氧干燥柜内产生的废气，尤其是臭氧；所述气体管理模块(3)通过智能单元(4)控制，由智能单元(4)设定输入或输出口气体流速和尾气延长处理时间参数，并启动空调模块(3)完成真空紫外光学元件清洁存放过程中干燥柜内气体输入或输出及废气清除；智能单元(4)，控制真空紫外光学元件清洁和存放的全部过程。