用于测试操作器的拾取及置放模组

摘要

一种用于测试操作器的拾取及置放模组包含一主体与一套件。该主体有N条真空路径(其中N为复数)。该套件有M个拾取器。该M个拾取器系经装设成各自对应至M个真空路径部件(其中1＜＝M＜＝N)，该M个真空路径部件系经形成为各自对应至形成于该主体中之一些或所有该N条真空路径；以及，使用真空压力来保持数个半导体元件或释放持有的半导体元件。该套件系可拆卸地安装于该主体。