发明名称 用于处理液体的系统
摘要 一种使用于输送超纯净液体之包装容器中之微粒产生降低的系统及方法。容器中之微粒产生系经由使在液体之填装、输送、及分配过程中存在之空气-液体界面减少而降低。
申请公布号 TWI366555 申请公布日期 2012.06.21
申请号 TW099130705 申请日期 2003.04.18
申请人 尖端科技材料股份有限公司 美国 发明人 凯利伟恩;启尔哥得丹尼斯
分类号 C02F1/00 主分类号 C02F1/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国