振动控制用质量体

摘要

本发明提供为了高精度控制平台等移动体的高速移动所伴随之振动，所使用的质量体，其系大型且能赋予复杂形状的振动控制用质量体。振动控制用质量体(100)系具有复数板状构件(10、20)，该复数构件(10、20)分别系由钨合金构成，该钨合金系含有钨80质量%以上且99质量%以下作为主成分。振动控制用质量体(100)系在具有移动体的平台装置中，用以对移动体移动所伴随的振动进行控制而使用。